粒子計(jì)數(shù)器工作原理及分類
1、工作原理
光散亂式粒子計(jì)數(shù)儀(采用激光或白光光源)主要是求出浮游在超凈間等清潔空間中浮游粒子的每個(gè)單位體積的個(gè)數(shù)濃度。從得到的數(shù)據(jù)里可以得出其測試范圍(粒徑通道)的個(gè)數(shù)。
首先粒子計(jì)數(shù)儀由內(nèi)部吸氣泵或外部采樣泵以一定的比例進(jìn)行氣體(一般的超凈間為室內(nèi)空氣)采樣。當(dāng)采樣氣體中的粒子通過光源(激光)等收束的光束時(shí),產(chǎn)生光散亂現(xiàn)象。光散亂通過光電變換器變?yōu)殡娦盘?hào)(脈沖),粒子越大得出該脈沖信號(hào)就越***峰值),通過此時(shí)的波峰值和脈沖數(shù)就可得出每個(gè)粒徑的個(gè)數(shù)濃度。即通過測試散亂光的數(shù)量和強(qiáng)度,得出實(shí)時(shí)測試數(shù)據(jù)。 凝聚核法粒子計(jì)數(shù)儀(CNC)工作原理(MODEL3851) 普通光散亂式粒子計(jì)數(shù)儀無法檢測到超凈間內(nèi)漂浮的0.1um以下的超微粒子。只能采取凝聚核法進(jìn)行測試。采用高溫酒精蒸汽與被測空氣混合達(dá)到過飽和狀態(tài)。超微粒子在過飽和酒精蒸汽氛圍中成為凝聚核,粒子徑增大后即可檢測出來。 CNC具有較高的采樣效率,因而可以在短時(shí)間內(nèi)率的檢測到超凈間內(nèi)的粒子濃度。
2、粒子計(jì)數(shù)儀的分類
A、按測試原理分 光散亂法測試(白光、激光)、顯微鏡法測試、稱重法測試、DMA法測試(粒徑分析儀)、慣性法測試、擴(kuò)散法測試、凝聚核法測試(CNC)等
B、按流量分 小流量0.1c****.83L/min)大流量1c****8.3L/min)
C、按形狀、體積大小分 手持式、臺(tái)式 D、按測試通道分 單通道(只測某一種粒子徑);雙通道(測試某兩種粒子徑);多通道(測試多種粒子徑)
粒子計(jì)數(shù)器的校準(zhǔn)維護(hù)
1、粒子計(jì)數(shù)器是國家規(guī)定的計(jì)量器具,在使用一段時(shí)間后,其光學(xué)系統(tǒng)及檢測系統(tǒng)都會(huì)發(fā)生變化,如光源老化、發(fā)光效率降低或聚焦錯(cuò)位、透鏡被污染,從而使整機(jī)的轉(zhuǎn)換靈敏度變化。
2、儀器的工作位置和采樣管的進(jìn)氣口應(yīng)處于同一氣壓和同一溫度下,以免影響氣路系統(tǒng)工作和產(chǎn)生凝露二損壞光學(xué)系統(tǒng)。若必須再有壓差的情況下工作,則大壓差不超過200Pa在有壓差和溫度的條件下工作,會(huì)增大測量誤差,甚至損壞儀器。
3、搬運(yùn)儀器時(shí),應(yīng)輕搬輕放,少受震動(dòng),建議放在包箱內(nèi)。